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中文名 *
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英文名
类别 *
气体
液体
工艺模块(可多选)
清洗 Cleaning
光刻 Lithography
干法刻蚀 Etch
薄膜沉积 Deposition
炉管 Furnace
离子注入 Implant
CMP
湿法刻蚀 WET
电镀 ECD
公用工程 / 废水
腔体清洁 Chamber Clean
分子式
CAS号
警示词
危险
警告
GHS象形图(逗号分隔,可选:flame,gas,skull,corrosion,excl,health,oxid,env)
flame=易燃 gas=气体 skull=剧毒 corrosion=腐蚀 excl=刺激 health=健康危害 oxid=氧化 env=环境
危险说明(H语句)
急救措施
消防措施
泄漏应急处理
操作处置与储存
个体防护说明
PPE图标(逗号分隔,可选:gloves,goggles,mask,respirator,clothing,face,vent)
理化特性
UN编号
接触限值
NFPA(健康,燃烧,反应,逗号分隔,如 3,4,2)
数据来源
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